Versatile-DT200是金沙js9线路中心自主研发的一款高效率、高清洁度的全自动双轴晶圆边沿修整装备,用于精准解决晶圆减薄时边沿崩边问题,,,,提高减薄质量。。该装备集切割、传输、洗濯、量测为一体,,,,设置多轴联动高细亲近割手艺、全自动传输及高清洁度洗濯手艺,,,,并搭载高分辨率视觉瞄准及先进的量测系统;;;;;;同时该装备具备尺寸切换无邪、工艺蹊径富厚、功效设置多样等优点,,,,极大知足先进封装、Micro LED、化合物晶圆等半导体制造工艺及产品的各项手艺需求。。
6/8/12英寸产品的可拓展性
工艺无邪并适配多种产品
高分辨率视觉瞄准及当站量测
全自动传输及高清洁度洗濯