Universal-S300是金沙js9线路中心面向行业前沿需求，，，，，，开发的一款集先进抛光工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。。该装备接纳叠层结构架构实现有限机台面积下的高产能，，，，，，配备高效的传输架构和洗濯架构，，，，，，同时？？？？？？榛杓浦悴畋鹂突Ф圆畋鹬瞥痰淖氨敢螅，，，，，可知足日益提高的清洁度需求。。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平展化，，，，，，知足先进制程手艺需求，，，，，，实现集成电路、先进封装等制造工艺中批量应用。。
抛光洗濯叠层设置，，，，，，实现单位占地面积下产能最大化
？？？？？？榛柚茫，，，，，兼容4盘/6盘
抛光可选单盘对单头/双盘对三头，，，，，，知足客户对单盘/多盘工艺，，，，，，高产能，，，，，，高精度等多种制程需要
高效的传输路径设计，，，，，，显著提升抛光至洗濯间的传输速率
摩擦洗濯使用机械剪切力与化学作用，，，，，，提升外貌颗粒洗濯能力