Versatile-GR200是金沙js9线路中心面向功率半导体领域自主研发的全自动留环减薄机,,能够实现全流程自动化作业。。该装备兼容性突出,,可适配 6/8 英寸晶圆;;;同时搭载先进留环减薄手艺,,依附卓越的厚度误差及环宽控制能力,,使晶圆减薄后保存更强抗弯折性能,,不但能免去减薄时的边沿破损问题,,还能有用降低晶圆翘曲风险。。
可实现全流程自动化作业
卓越的厚度误差及环宽控制能力
兼容性强、设置富厚
空间占用小,,维护利便