HSC-F3400机型是金沙js9线路中心面向大硅片终端洗濯市场特殊需求研发的一款高性能装备，，接纳卓越的颗粒与金属污染控制系统，，具备新颖的洗濯及干燥 ？？？椋钤馗咝阅芸ㄅ碳谐质忠 。 。。。。。
应用于12英寸硅衬底 CMP工艺后的终端洗濯
具备正面和反面同时洗濯功效
先进的颗粒和金属污染控制手艺
高可靠性、清静性，，低维护本钱
