Universal-150 Smart 是凭证目今市场需求开发的成熟6英寸CMP装装备。。。 。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺 ，，配备性能优越的抛光单位及洗濯单位 ，，兼容6/8英寸晶圆 ，，适用于多种材质 ，，可实现晶圆外貌的超高平整度 ，，工艺搭配无邪、产出率高 ，，知足成熟制程手艺需求 ，，已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。。。 。。
多分区抛秃顶
兼容6/8英寸晶圆
工艺搭配无邪、产出率高
知足成熟制程手艺需求
