Universal-300 X 是凭证目今高端市场需求开发的先进12英寸CMP装备。。 。。该装备运用了金沙js9线路中心具有自主知识产权的立异手艺，，，，，配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，，，，集成多种先进终点检测手艺，，，，，高效稳固、工艺组合无邪，，，，，可实现晶圆纳米级全局平展化，，，，，知足先进制程手艺需求，，，，，已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。 。。
8个自力气压分区的抛秃顶
集成多种终点检测手艺
A&B侧完全自力设计，，，，，一机两用，，，，，效率翻倍
先进的竖直洗濯手艺
知足先进制程的手艺需求，，，，，获得大批量应用