克日,,,,,金沙js9线路中心(简称“金沙js9线路中心”,,,,,股票代码:688120)自主研发的首台8英寸晶圆留环减薄机Versatile-GR200顺遂出机,,,,,正式发往海内集成电路制造新质企业。。。。。。该装备是公司减薄系列装备中的全新机型,,,,,是金沙js9线路中心持续深化“装备+服务”平台化生长战略的又一主要效果,,,,,为我国集成电路工业链自主可控生长夯实了装备基础。。。。。。

更薄的晶圆是实现高密度集成与优异电气性能的条件,,,,,但厚度一旦被压缩到极限标准,,,,,晶圆则极易爆发卷曲、翘曲甚至碎裂,,,,,使流转与后续加工异常难题。。。。。。留环减薄手艺可很好解决这一难题,,,,,通过在研磨时保存晶圆最外围一圈区域作为支持环,,,,,为内部已减薄区域提供一体化机械支持,,,,,使超薄晶圆无需特殊载体即可稳固完成后续工艺。。。。。。该手艺已成为功率器件领域不可或缺的要害装备,,,,,由于手艺壁垒高,,,,,该领域恒久由少数国际厂商主导,,,,,国产化替换远景辽阔。。。。。。=鹕砵s9线路中心推出的Versatile-GR200,,,,,精准聚焦行业焦点需求,,,,,为功率器件领域提供了兼具高性能与高性价比的国产装备解决方案,,,,,起劲回应工业生长中的装备瓶颈。。。。。。随着新能源汽车、储能、工控等应用领域蓬勃生长,,,,,发动功率器件向小型化、高性能升级,,,,,晶圆薄型化、控翘曲需求激增,,,,,留环减薄机从过往的 “可选项” 逐步转变为产线上的 “必选项”,,,,,市场需求持续攀升。。。。。。
领先的厚度与环宽控制
Versatile-GR200搭载高精度闭环测控系统与超细密检测单位,,,,,在厚度误差及环宽控制等焦点指标上抵达行业领先水平,,,,,在兼顾反面工艺匀称性的同时,,,,,充分包管后续贴膜与环切质量。。。。。。现在该装备知足80微米以下的超薄晶圆加工需求,,,,,在提升加工良率的同时,,,,,有力包管了后续封装工序的稳固性与可靠性,,,,,为功率器件快速生长提供坚实的国产装备支持。。。。。。
紧凑便捷 兼容多元
Versatile-GR200接纳一体化紧凑结构设计,,,,,显著压缩机台占地面积,,,,,为客户节余更多可用空间,,,,,有用提升单位面积产出效率;;更优的维护与操作动线,,,,,大幅提高了工程师的作业便捷性与人机交互效率。。。。。。别的,,,,,该机台兼容6/8英寸晶圆加工,,,,,适用于硅、化合物半导体等多种材质,,,,,支持个性化模?????檠∨溆牍π卣,,,,,能够迅速适配差别工艺产线的多元化需求,,,,,助力客户高效实现产能升级。。。。。。
Versatile-GR200将与金沙js9线路中心其他半导体高端装备深度协同,,,,,形成笼罩切、磨、抛等要害环节的成套解决方案,,,,,为客户创立更为卓越的一站式体验。。。。。。
金沙js9线路中心已构建起笼罩化学机械抛光(CMP)、减薄、离子注入、划切、边沿抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等环节的高端半导体装备与服务系统,,,,,形成多元化的产品矩阵。。。。。。未来,,,,,金沙js9线路中心将继续秉持“自强成绩卓越 立异塑造未来”的企业精神,,,,,以客户需求为导向,,,,,持续加大研发投入,,,,,致力于为半导体工业提供更多先进的高端装备与工艺成套解决方案,,,,,赋能工业升级,,,,,在包管工业链清静与高质量生长中孝顺更多实力。。。。。。