克日,,金沙js9线路中心(简称“金沙js9线路中心”,,股票代码688120)自主研发的12英寸晶圆边沿修整装备Versatile-DT300实现批量出货,,发往海内多家半导体企业,,已获得市场认可。。。。。。

边沿修整装备在堆叠工艺中通过对晶圆边沿的加工,,有用降低减薄、镀膜等工艺前后爆发的边沿崩边与破碎风险,,从而提高芯片生产良率。。。。。;;;=鹕砵s9线路中心的Versatile-DT300具备卓越的工艺性能和稳固的量产能力。。。。。。该装备无邪兼容全自动双轴切割、一次对位多次进给切割、角度切割等多种重大工艺,,知足差别客户的晶圆加工需求,,可实现微米级精度的切宽与切深控制,,并展现出优异的洗濯性能,,抵达海内领先、国际先进的手艺水平。。。。。。现在,,金沙js9线路中心边沿修整装备已为十余家客户完成大批量样品加工,,并获得多个复购订单与深度相助意向。。。。。。
随着3D IC与先进封装手艺的迅猛生长,,晶圆多层堆叠工艺的应用日益普遍。。。。。。为提升产品良率,,在堆叠工艺实验前后均需对晶圆边沿举行处理,,且该环节的加工要求一直提高。。。。。。晶圆边沿修整已成为高带宽存储器(HBM)、硅通孔(TSV)、背照式传感器(BSI)及微机电系统(MEMS)等先进工艺与制造中不可或缺的环节,,响应装备市场需求显著增添。。。。。。金沙js9线路中心边沿修整装备依附其高度无邪的工艺顺应性和持续迭代升级的能力,,很好方单合了市场对更细腻、多样化加工需求的生长趋势。。。。。。
本次Versatile-DT300的批量出货,,标记着金沙js9线路中心针对3D IC切、磨、抛等成套解决方案再次实现突破,,不但印证了公司在高端半导体装备领域的手艺实力,,也彰显出国产装备在半导体工业链中一直提升的竞争力。。。。。。未来,,金沙js9线路中心将继续坚持“客户导向 立异驱动 质量逾越”的焦点价值观,,一直深化“装备+服务”平台化生长战略,,为我国半导体工业的自主可控与高质量生长持续孝顺实力。。。。。。