Master-BT300是一款基于先进封装需求开发的12英寸晶圆边沿细密抛光修整装备，，，用于解决晶圆边沿崩边、毛刺、修整等问题。 。。。。。该装备集成高精度抛光、修整，，，高效洗濯和精准量测功效。 。。。。。同时该装备接纳？？？？？？榛杓，，，可以无邪设置功效，，，知足HBM等先进封装领域晶圆边沿抛光修整要求。 。。。。。
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有用解决晶圆边沿崩边、毛刺等缺陷
凭证客户工艺需求，，，将边沿修整成为特定形貌
高效的清洁洗濯手艺
高精怀抱测系统对抛光效果做在线检测和评价