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Versatile-GR300

Versatile-GR300是金沙js9线路中心面向功率半导体领域自主研发的一款全自动留环减薄机,,,能够实现全流程自动化作业 。。该装备兼容性突出,,,适配8/12英寸晶圆;;;;;;同时搭载先进留环减薄手艺,,,使晶圆减薄后保存更大的抗弯折性能,,,不但能免去晶圆减薄时的边沿破损问题,,,还能大幅降低晶圆翘曲风险 。。

可实现全流程自动化作业

卓越的厚度误差与环宽控制手艺

兼容性强、设置富厚

空间占用小,,,维护利便

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