Versatile-GR300是金沙js9线路中心面向功率半导体领域自主研发的一款全自动留环减薄机,,,能够实现全流程自动化作业。。该装备兼容性突出,,,适配8/12英寸晶圆;;;;;;同时搭载先进留环减薄手艺,,,使晶圆减薄后保存更大的抗弯折性能,,,不但能免去晶圆减薄时的边沿破损问题,,,还能大幅降低晶圆翘曲风险。。
可实现全流程自动化作业
卓越的厚度误差与环宽控制手艺
兼容性强、设置富厚
空间占用小,,,维护利便