Master-P510抛光装备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光装备，，专为知足不大于510mm×515mm 规格板件的超平展化、低缺陷抛光需求设计。。。。单抛秃顶，，单抛光盘装备维护本钱低，，工艺切换无邪，，无需重大配套装备。。。。
板级CMP装备
集成多种先进终点检测手艺
可实现不大于510mm*515mm尺寸矩形产品兼容
